KOYO光洋卧式炉200型系列

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产品型号:
 牌:半导体制造设备
公司名称:入江贸易(沈阳)有限公司
  地:辽宁沈阳
发布时间:2019-09-16
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产品简介

KOYO光洋卧式炉200型系列
KOYO光洋卧式炉200型系列

产品详细信息

从小型实验、研究(R&D)到批量生产,能够根据需要进行装置设计。
硅谷就不用说了。

太阳能电池、太阳能发电(PV)的生产用途也能使用的横型炉。


特点
根据您的要求量身定制的设备建议书,从小型实验到批量生产
处理25至150张的批次
1至4级炉配置,以适应空间
支持2到8英寸和300毫米的各种晶圆尺寸
LGO加热器适用于中低温度范围,HGC加热器适用于高温范围,优异的温度特性
根据应用,空间和预算要求定制规格的设备提案
控制系统为功能量身定制


卧式炉可根据客户要求设计,支持从研发到大规模生产3英寸,4英寸,6英寸8英寸晶圆,125平方毫米,156毫米方形单元尺寸。。 它不仅可用于硅晶片,还可用于太阳能电池(太阳能)和光伏(PV)生产。使用氯氧化磷(POCl3),三溴化硼(BBr3),硼扩散,热解的磷扩散 可以进行氧化,湿氧化,干氧化,退火等。


规格


加热器 LGO加热器、HGC加热器
均热长度( mm ) 250至800
晶片尺寸( mm ) 300
温度控制 三区
输送装置 船式电梯、船式装载机、悬臂装载机、软装载机
用途 氧化扩散(磷扩散、硼扩散、固化氧化、
湿式氧化、干式氧化)、退火处理
处理相关项目 氯氧磷( POCl )3三溴化硼( BBr )3
处理品 3英寸、4英寸、6英寸、8英寸硅晶片、125mm见方,
156mm见方PV电池

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