KOYO光洋用于光伏电池的卧式炉型号206A

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产品型号:
 牌:半导体制造设备
公司名称:入江贸易(沈阳)有限公司
  地:???宁沈阳
发布时间:2019-09-16
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产品简介

KOYO光洋用于光伏电池的卧式炉型号206A
KOYO光洋用于光伏电池的卧式炉型号206A

产品详细信息

卧式炉适用于太阳能电池(太阳能)和光伏(PV)电池制造。

能够处理100至156平方晶圆并批量处理200至400批。


特点
在日本有丰富的记录
兼容100mm至200mm方形晶圆
200-400批次(取决于浸泡长度和晶圆间距)
配备LGO加热器,可快速加热并节省能源


用于太阳能电池(太阳能)和光伏(PV)电池生产的卧式炉,支持125mm方形和156mm方形太阳能电池,以及6英寸和8英寸晶圆尺寸。 太阳能电池(太阳能)和光伏(PV)生产应用的理想选择,使用三氯氧化硼(POCl3),三溴化硼(BBr3),硼扩散,热解氧化,湿氧化,干燥的磷扩散 可以进行诸如氧化和退火的晶体处理。

规格


本体尺寸( mm ) 850(W)×6700(L)×2500(H) (3段炉)
加热器 LGO加热器
均热长度( mm ) 1000
温度控制 三至五区
输送装置 小船装载机
用途 氧化扩散(磷扩散、硼扩散、固化氧化、
湿式氧化、干式氧化)、退火处理
处理相关项目 氯氧磷( POCl )3三溴化硼( BBr )3
处理品 3英寸、4英寸、6英寸、8英寸硅片125mm见方,
156mm见方PV电池

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