KOYO光洋300mm晶圆兼容清洁烤箱SO2-12-F

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产品型号:
 牌:半导体制造设备
公司名称:入江贸易(沈阳)有限公司
  地:辽宁沈阳
发布时间:2019-09-16
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产品简介

KOYO光洋300mm晶圆兼容清洁烤箱SO2-12-F
KOYO光洋300mm晶圆兼容清洁烤箱SO2-12-F

产品详细信息

用于300mm(12英寸)晶圆的半导体制造的清洁炉。

FOUP可实现50张/腔的全自动加工。 用于低温加工,如聚酰亚胺固化。


特点
FOUP兼容全自动清洁烤箱
50张/室
两个腔室可以用一个机器人扩展
每室2FOUP运行

使用双晶圆传输机器人进行高效晶圆传输


这是一款用于半导体制造的洁净烤箱,它采用了*畅销的FPD制造设备,单晶圆清洁烤箱的技术。 可实现300mm(12英寸)FOUP兼容,全自动操作,可处理50张/ 1腔室,并可扩展至2腔室。 (每个腔室以2 FOUP运行)通过聚酰亚胺固化等低温处理实现高通量和短生产节拍时间。


规格


本体尺寸( mm ) 3300 ( w )×3105 ( d )×2200 ( h ) (双腔规格)
加热方式 水平热风循环方式
加热器 铠装加热器
使用温度范围 70~450℃
均热长度( mm ) 500
晶片尺寸( mm ) 300
处理张数 50张/批
I/O端口 2或4
晶片搬送 两片叶子
控制器 专用控制器
主机通信 GEM300
设定 凹口眼线
用途 (聚酰亚胺)固化,脱水
处理品 300毫米( 12英寸)晶片

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