KOYO光洋SiC功率半导体制造设备VF-3000H

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产品型号:
 牌:半导体制造设备
公司名称:入江贸易(沈阳)有限公司
  地:辽宁沈阳
发布时间:2019-09-16
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产品简介

KOYO光洋SiC功率半导体制造设备VF-3000H
KOYO光洋SiC功率半导体制造设备VF-3000H

产品详细信息

超高温处理是可能的,也是功率器件制造的理想选择。

立式炉,可自动转移3-6英寸晶圆,可用于研发和批量生产。


特点
迷你批次,50页加工,研发到批量生产线
支持3到6英寸的各种晶圆尺寸
炉子具有独特的无金属结构
可以在晶片附近进行温度监测
N2加载锁作为标准设备
配备C至C转移,实现高通量

对应于H2气氛中的沟槽圆形退火(可选)


能够以小批量处理50个晶圆,并支持3到6英寸的各种晶圆尺寸。 通过仔细选择硬件和控制系统的内容,可以从研发应用到批量生产线的立式炉。 炉子具有独特的无金属结构。 也可以使用实验机器(没有晶片传输)。 它还支持用于活化退火的超高温工艺。


规格


使用温度范围 700~1850℃(H2退火时,~1800℃
晶片尺寸 3到6英寸
*大处理张数 五十张
使用气体 n2、Ar、h2(可选)
用途 SiC功率器件用、研究开发、量产用、活性化退火

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